. 基本参数
仪器类型:三组四极杆电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)
质量范围:1–285 amu
分辨率:0.1–2.0 amu 连续可调(常规 <0.7 amu)
检测器:双模式(脉冲 / 模拟),自动切换PerkinElmer
2. 离子光学与反应池
Q0 离子偏转器:高压偏转,最大化目标离子传输
Q1 通用反应池:标配单气路,可升级至三气路;支持碰撞(He)、反应(H₂/NH₃)模式,动态带宽调谐(DBT)
Q2 质量分析器:全尺寸四极杆,Hyperbolic 双曲面场
3. 进样与基体耐受
采样锥 / 截取锥:大孔径、高耐盐设计,适配高基体
AMS 全基体进样系统:在线气体稀释,最高 200 倍,支持 **≤35% TDS** 样品
EDR 智能电子稀释:线性范围 10⁻¹⁴~10⁶ ppm,一次进样同时测高低浓度
雾化室:高灵敏度气旋式,带 AMS 接口
4. 等离子体与射频
射频发生器:34 MHz,LumiCoil™ 风冷线圈,功率 400–1600 W
氩气消耗:8–10 L/min(1300 W)
炬管:水平安装,自动定位(±0.05 mm)
5. 性能指标
检出限:ppt 级(Li、Be、B、Cr、Fe、Ni、Cu、Zn、As、Cd、Pb 等)
稳定性:短期 / 长期 RSD <0.08%(同位素比值)
样品通量:>5200 样品 / 月,维护时间 <1%PerkinElmer
6. 应用适配
核心场景:半导体高纯试剂 / 晶圆、锂电池正负极 / 电解液、高盐化工、环境 / 医药痕量分析
合规支持:ICH Q3D、USP <232>、SEMI 标准